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博士論文 / Mechanical Reliability Enhancement of Single Crystal Silicon Microstructures by Means of Diamond-Like Carbon Film Coating ダイヤモンドライクカーボン膜の全面被覆による単結晶シリコン微細構造の機械的信頼性向上

著者

書誌事項

タイトル

Mechanical Reliability Enhancement of Single Crystal Silicon Microstructures by Means of Diamond-Like Carbon Film Coating

タイトル別名

ダイヤモンドライクカーボン膜の全面被覆による単結晶シリコン微細構造の機械的信頼性向上

著者名

Zhang Wenlei

学位授与大学

Kyoto University (京都大学) (大学ID:0048)

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第21462号

学位授与年月日

2019-01-23

注記・抄録

新制・課程博士

甲第21462号

工博第4537号

キーワード

Microstructure, silicon, diamond-like carbon, Tensile Test, Torsional Test

各種コード

NII論文ID(NAID)

500001323554

NII著者ID(NRID)
  • 8000001467466
DOI (JaLC)

10.14989/doctor.k21462

DOI

info:doi/10.14989/doctor.k21462

本文言語コード

eng

データ提供元

機関リポジトリ / NDLデジタルコレクション

DOI

博士論文 / 京都大学 / 工学

博士論文 / 京都大学

博士論文 / 工学

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