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博士論文 / Development of a planar type of modulated inductively coupled thermal plasma for uniform oxidation processing

著者

書誌事項

タイトル

Development of a planar type of modulated inductively coupled thermal plasma for uniform oxidation processing

著者名

マイ カイ シュアン ティアル

著者名

Mai Kai Suan Tial

学位授与大学

金沢大学 (大学ID:0037) (CAT機関ID:KI000403)

取得学位

博士(学術)

学位授与番号

甲第4573号

学位授与年月日

2017-03-22

注記・抄録

博士論文本文 以下に掲載:Journal of Physics D: Applied Physics 49(38) pp.1-14 2016. IOPscience. 共著者:Mai Kai Suan Tial, Yasunori Tanaka, Mika Akao, Yoshihiko Uesugi, Tastuo Ishijima

元資料の権利情報 : CC BY-NC-ND

http://hdl.handle.net/2297/48060

博士論文要旨Abstract 以下に掲載:Journal of Physics D: Applied Physics 49(38) pp.1-14 2016. IOPscience. 共著者:Mai Kai Suan Tial, Yasunori Tanaka, Mika Akao, Yoshihiko Uesugi, Tastuo Ishijima

各種コード

NII論文ID(NAID)

500001054867

NII著者ID(NRID)
  • 8000001135475
  • 8000001155985
DOI (出版社)

10.1088/0022-3727/49/38/385204

DOI

http://iopscience.iop.org/article/10.1088/0022-3727/49/38/385204/meta

本文言語コード

eng

データ提供元

機関リポジトリ / NDLデジタルコレクション

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