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博士論文 / Investigation on high performance surface acoustic wave devices using ScAlN thin films ScAlN薄膜を用いた高性能弾性表面波素子に関する研究

著者

書誌事項

タイトル

Investigation on high performance surface acoustic wave devices using ScAlN thin films

タイトル別名

ScAlN薄膜を用いた高性能弾性表面波素子に関する研究

著者名

TANG Gongbin

学位授与大学

千葉大学 = Chiba University (大学ID:0020)

取得学位

博士(学術)

学位授与番号

甲第5836号

学位授与年月日

2017-03-24

注記・抄録

研究科: 千葉大学大学院工学研究科(人工システム科学)

学位記番号: 博士(学術)

学位記番号: 千大院工博甲第学27号

各種コード

NII論文ID(NAID)

500001036595

NII著者ID(NRID)
  • 8000001139203
本文言語コード

eng

データ提供元

機関リポジトリ / NDLデジタルコレクション

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