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TANG Gongbin - 千葉大学 博士(学術) - ScAlN薄膜を用いた高性能弾性表面波素子に関する研究

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書誌事項

タイトル

Investigation on high performance surface acoustic wave devices using ScAlN thin films

タイトル別名

ScAlN薄膜を用いた高性能弾性表面波素子に関する研究

著者名

TANG Gongbin

学位授与大学

千葉大学

取得学位

博士(学術)

学位授与番号

甲第5836号

学位授与年月日

2017-03-24

注記・抄録

研究科: 千葉大学大学院工学研究科(人工システム科学)

学位記番号: 博士(学術)

プレビュー画像

TANG Gongbin - 千葉大学 博士(学術) - ScAlN薄膜を用いた高性能弾性表面波素子に関する研究 - 博士論文 - プレビュー画像

各種コード

NII論文ID(NAID)
500001036595
NII著者ID(NRID)
  • 8000001139203
本文言語コード
  • eng
大学ID

0020

データ提供元
  • 機関リポジトリ
  • NDLデジタルコレクション

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