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博士論文 - Sethavut Duangchan - 九州工業大学(情報工学) - ナノ結晶ダイヤモンドを利用したSOI素子動作温度の低温化技術に関する研究

書誌事項

タイトル

Study on Operating-Temperature Reducing Technique for Silicon-on-Insulator Device by Using a Nano-Crystalline Diamond

タイトル別名

ナノ結晶ダイヤモンドを利用したSOI素子動作温度の低温化技術に関する研究

著者名

Sethavut Duangchan

学位授与大学

九州工業大学 (大学ID:0071) (CAT機関ID:KI000844)

取得学位

博士(情報工学)

学位授与番号

甲情工第319号

学位授与年月日

2017-03-24

注記・抄録

九州工業大学博士学位論文 学位記番号:情工博甲第319号 学位授与年月日:平成29年3月24日

1 Introduction|2 The ability of heat dissipation of nano-crystalline diamond film|3 Low-temperature bonding mechanism between SiO2 and SiO2|4 Silicon-on-diamond by low-temperature bonding|5 Summary and further study

平成28年度

九州工業大学博士学位論文(要旨)学位記番号:情工博甲第319号 学位授与年月日:平成29年3月24日

目次

  1. 2017-10-02 再収集 / (index.pdf)

キーワード

Reduced operation temperature Nano-crystalline diamond NCD Silicon-on-Insulator Silicon-on-Diamond SOD

各種コード

NII論文ID(NAID)

500001036796

NII著者ID(NRID)
  • 8000001141521
本文言語コード
  • eng
データ提供元
  • 機関リポジトリ (国立大学法人九州工業大学)
  • NDLデジタルコレクション

九州工業大学(情報工学) - 博士論文

情報工学 - 博士論文