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小原 裕也 - 鹿児島大学 博士(工学) - R刃工具を用いた単結晶シリコン円板の精密切削加工に関する研究

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書誌事項

タイトル

R刃工具を用いた単結晶シリコン円板の精密切削加工に関する研究

タイトル別名

Study on Precision Cutting of Single Crystal Silicon Disc using Radius Nosed Cutting Tool

タイトル別名

Study on Precision Cutting of Single Crystal Silicon Disc using Radius Nosed Cutting Tool

タイトル別名

アールハ コウグ オ モチイタ タンケッショウ シリコン ノ セイミツ セッサク カコウ ニ カンスル ケンキュウ

著者名

小原 裕也

著者名

コバル ユウヤ

学位授与大学

鹿児島大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

乙理工論第75号

学位授与年月日

2017-03-16

各種コード

NII論文ID(NAID)
500001033652
NII著者ID(NRID)
  • 8000001141134
  • 8000001141135
本文言語コード
  • jpn
大学ID

0077

CAT機関ID

KI000935

データ提供元
  • 機関リポジトリ
  • NDLデジタルコレクション

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