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博士論文 / R刃工具を用いた単結晶シリコン円板の精密切削加工に関する研究 Study on Precision Cutting of Single Crystal Silicon Disc using Radius Nosed Cutting Tool

著者

書誌事項

タイトル

R刃工具を用いた単結晶シリコン円板の精密切削加工に関する研究

タイトル別名

Study on Precision Cutting of Single Crystal Silicon Disc using Radius Nosed Cutting Tool

タイトル別名

アールハ コウグ オ モチイタ タンケッショウ シリコン ノ セイミツ セッサク カコウ ニ カンスル ケンキュウ

著者名

小原裕也

著者名

コバル ユウヤ

学位授与大学

鹿児島大学 (大学ID:0077) (CAT機関ID:KI000935)

取得学位

博士(工学)Doctor of Philosophy in Engineering

学位授与番号

乙理工論第75号

学位授与年月日

2017-03-16

各種コード

NII論文ID(NAID)

500001033652

NII著者ID(NRID)
  • 8000001141134
  • 8000001141135
本文言語コード

jpn

データ提供元

機関リポジトリ / NDLデジタルコレクション

博士論文 / 鹿児島大学 / 工学

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