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佐藤 明 - 茨城大学 博士(工学) - 3次元実装のためのCu-TSV抵抗率と微細構造に関する研究

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書誌事項

タイトル

3次元実装のためのCu-TSV抵抗率と微細構造に関する研究

タイトル別名

Investigation on Microstructure and Resistivity in Cu-TSVs for 3D Packaging

著者名

佐藤 明

著者名

SATO Akira

著者名

SATOH Akira

学位授与大学

茨城大学

取得学位

博士(工学)

学位授与番号

甲第597号

学位授与年月日

2017-03-23

プレビュー画像

佐藤 明 - 茨城大学 博士(工学) - 3次元実装のためのCu-TSV抵抗率と微細構造に関する研究 - 博士論文 - プレビュー画像

各種コード

NII論文ID(NAID)
500001033640
NII著者ID(NRID)
  • 8000001142040
  • 8000001142041
  • 8000001142042
本文言語コード
  • jpn
大学ID

0015

CAT機関ID

KI000152

データ提供元
  • 機関リポジトリ
  • NDLデジタルコレクション

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