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博士論文 / 全反射蛍光X線分析法による微量分析の研究 全 反射 蛍光 X線 分析法 微量 分析

著者

書誌事項

タイトル

全反射蛍光X線分析法による微量分析の研究

タイトル別名

全 反射 蛍光 X線 分析法 微量 分析

著者名

宇高忠

著者別名

ウタカ タダシ

学位授与大学

東京大学 (大学ID:0021) (CAT機関ID:KI000221)

取得学位

博士 (工学)

学位授与番号

乙第13789号

学位授与年月日

1998-03-16

注記・抄録

博士論文

目次

  1. 目次 / (0003.jp2)
  2. 第1章 序論 / p1 (0004.jp2)
  3. 第2章 全反射蛍光X線分析装置の基礎研究 / p7 (0007.jp2)
  4. 2.1 まえがき / p7 (0007.jp2)
  5. 2.2 全反射蛍光X線分析装置 / p9 (0008.jp2)
  6. 2.3 実験 / p26 (0017.jp2)
  7. 2.4 TXRF技術を用いての研究例 / p31 (0019.jp2)
  8. 2.5 むすび / p37 (0022.jp2)
  9. 第3章 全反射蛍光X線分析用高感度X線分光器の試作研究 / p39 (0023.jp2)
  10. 3.1 まえがき / p39 (0023.jp2)
  11. 3.2 X線光学系 / p39 (0023.jp2)
  12. 3.3 結果および考察 / p47 (0027.jp2)
  13. 3.4 高感度型全反射蛍光X線分析装置試作 / p50 (0029.jp2)
  14. 3.5 むすび / p58 (0033.jp2)
  15. 第4章 全反射蛍光X線分析法による微量分析 / p59 (0033.jp2)
  16. 4.1 まえがき / p59 (0033.jp2)
  17. 4.2 全反射ミラー / p59 (0033.jp2)
  18. 4.3 実験 / p63 (0035.jp2)
  19. 4.4 実験結果と議論 / p65 (0036.jp2)
  20. 4.5 むすび / p74 (0041.jp2)
  21. 第5章 全反射蛍光X線分析法による軽元素分析 / p75 (0041.jp2)
  22. 5.1 まえがき / p75 (0041.jp2)
  23. 5.2 予備実験 / p77 (0042.jp2)
  24. 5.3 軽元素励起X線源 / p81 (0044.jp2)
  25. 5.4 軽元素分析について / p84 (0046.jp2)
  26. 5.5 検出限界について / p95 (0051.jp2)
  27. 5.6 むすび / p99 (0053.jp2)
  28. 付録 力一ボン膜付きウェハの反射率測定 / p100 (0054.jp2)
  29. 第6章 全反射蛍光X線分析法による定量分析 / p104 (0056.jp2)
  30. 6.1 まえがき / p104 (0056.jp2)
  31. 6.2 定量化に起因する誤差要因 / p104 (0056.jp2)
  32. 6.3 全反射X線強度の計算 / p105 (0056.jp2)
  33. 6.4 入射角度と検出限界値について / p109 (0058.jp2)
  34. 6.5 相対感度係数の決定 / p112 (0060.jp2)
  35. 6.6 相対感度係数の実験値と計算値との比較 / p115 (0061.jp2)
  36. 6.7 定量分析上の注意事項 / p124 (0066.jp2)
  37. 6.8 むすび / p127 (0067.jp2)
  38. 第7章 全反射蛍光X線分析法によるシリコンウェハの表面汚染分析 / p131 (0069.jp2)
  39. 7.1 まえがき / p131 (0069.jp2)
  40. 7.2 TXRF分析上の妨害スペクトル / p132 (0070.jp2)
  41. 7.3 モノクロメータ / p133 (0070.jp2)
  42. 7.4x-y-z-θ-φ5軸試料ステージ / p145 (0076.jp2)
  43. 7.5 試作装置 / p163 (0085.jp2)
  44. 7.6 むすび / p165 (0086.jp2)
  45. 第8章 総括 / p167 (0087.jp2)
  46. 謝辞 / p175 (0091.jp2)
  47. 論文要旨 / p176 (0092.jp2)
  48. 論文リスト / p180 (0094.jp2)
  49. 発明考案 / p183 (0095.jp2)
  50. 業績リスト / p184 (0096.jp2)

各種コード

NII論文ID(NAID)

500000179602

NII著者ID(NRID)
  • 8000000179881
DOI (NDL)

10.11501/3158724

NDL書誌ID

000000343916

NDL請求記号

UT51-99-V474

データ提供元

NDL ONLINE / NDLデジタルコレクション

博士論文 / 東京大学 / 工学

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